O processo de preparação de alvos de zircônio inclui as seguintes etapas principais:
Fundição: O óxido de zircônio de alta pureza é reduzido a zircônio metálico em alta temperatura por meio de um forno a arco ou de indução. A temperatura e a atmosfera precisam ser estritamente controladas durante o processo para evitar a mistura de impurezas. Fundição: O metal de zircônio fundido é fundido em lingotes através de um molde. O processo de fundição é realizado em ambiente de gás inerte de alta pureza para garantir a pureza e integridade estrutural do material. Rolamento: O lingote de zircônio fundido é laminado a quente e a frio para formar alvos de zircônio com a espessura e formato necessários. A densidade e a uniformidade do material são gradualmente melhoradas por aquecimento e resfriamento repetidos durante o processo de laminação. Tratamento de superfície: O alvo de zircônio precisa ser tratado na superfície antes do uso para remover a camada de óxido e outras impurezas da superfície. Os métodos de tratamento comuns incluem polimento químico e polimento mecânico. Controle de qualidade: A pureza e uniformidade do alvo de zircônio são rigorosamente testadas por equipamentos avançados, como espectrômetro de fluorescência de raios X (XRF) e espectrômetro de massa de plasma indutivamente acoplado (ICP-MS) para garantir que atenda aos requisitos de aplicações de alta tecnologia .
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