80% de peso corporal
1. Manutenção de alvos
Para evitar curtos-circuitos e arcos causados por cavidades sujas durante o processo de pulverização catódica, é necessário remover periodicamente a matéria pulverizada acumulada no meio e em ambos os lados da pista de pulverização catódica. Isso também ajuda os usuários a operar continuamente com alta densidade de potência. Execute a pulverização catódica.
2. Armazenamento de destino
Recomendamos que os usuários armazenem alvos (sejam de metal ou cerâmica) em embalagens a vácuo. Em particular, alvos de laminação devem ser armazenados sob condições de vácuo para evitar que a oxidação da camada de laminação afete a qualidade da laminação. Em relação à embalagem de alvos de metal, recomendamos que eles sejam embalados em sacos plásticos limpos, pelo menos.
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3. Limpeza de alvos
O primeiro passo é limpar com um pano macio e sem fiapos embebido em acetona;
O segundo passo é semelhante ao primeiro, use álcool para limpar;
O terceiro passo é limpar com água deionizada. Após a limpeza com água deionizada, o alvo foi colocado em um forno para secar a 100 graus Celsius por 30 minutos. É recomendado usar um "pano sem fiapos" para limpar alvos de óxido e cerâmica.
O quarto passo é lavar o alvo com gás argônio de alta pressão e baixa umidade para remover quaisquer partículas impuras que possam causar arcos no sistema de pulverização catódica.
4. Inspeção de curto-circuito e vedação
Após a instalação do alvo, todo o cátodo precisa ser inspecionado para curto-circuito e vedação. É recomendado usar um medidor de resistência para determinar se há um curto-circuito no cátodo. Após confirmar que não há curto-circuito no cátodo, você pode executar uma verificação de vazamento de água e passar água para dentro do cátodo para determinar se há vazamento de água.
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5. Embalagem e transporte
Todos os alvos são embalados em sacos plásticos selados a vácuo com agente à prova de umidade. A embalagem externa é geralmente uma caixa de madeira com uma camada anticolisão ao redor para proteger o alvo e a placa de apoio de danos durante o transporte e armazenamento.
